潔凈環(huán)境使用的離子棒
產(chǎn)品型號(hào):5635 (M)
產(chǎn)品廠商:
簡(jiǎn)介:Simco-Ion Aerobar 5635 MP 離子棒能提供快速靜電消散,低殘余電壓擺幅,和精準(zhǔn)的離子平衡,是設(shè)計(jì)用于有嚴(yán)格要求的超高潔凈半導(dǎo)體或有同類的制程環(huán)境。它采用 MP 技術(shù) - 把高頻正旋周波和調(diào)制脈沖結(jié)合 - 產(chǎn)生高輸出量的離子和把它們推送至目標(biāo)表面,這突破的技術(shù)使 5635MP 離子棒能安裝在晶圓的 15 cm 距離內(nèi)。同時(shí)配合超高潔凈的靜電針和**的參數(shù)調(diào)整,使它達(dá)到超越 ISO Class 1 潔凈水平的
“Extended ISO Class 1”潔凈度,適合更微小的先進(jìn)技術(shù)制程。選配的吹氣輔助功能,在潔凈要求不高的環(huán)境,能加快離子的推送,得到更快的消散時(shí)間和有更遠(yuǎn)的工作距離。
Aerobar 5635 MP 離子棒的 MP 技術(shù)能容易設(shè)置和微調(diào)參數(shù) - 輸出電壓,脈沖頻率,正負(fù)平衡,以符合不同環(huán)境和產(chǎn)品對(duì)靜電的敏感要求。在棒長(zhǎng)短于 60 cm 時(shí),靜電針的間距