脈沖技術(shù)離子棒
產(chǎn)品型號(hào):5630
產(chǎn)品廠商:
簡(jiǎn)介:Simco-Ion Aerobar 5630 MP 離子棒能提供快速靜電消散,低殘余電壓擺幅,和精準(zhǔn)的離子平衡,是設(shè)計(jì)用于有嚴(yán)格要求的超高潔凈半導(dǎo)體或有同類的制程環(huán)境。它采用 MP 技術(shù) - 把高頻正旋周波和調(diào)制脈沖結(jié)合 - 產(chǎn)生高輸出量的離子和把它們推送至目標(biāo)表面,這突破的技術(shù)使 5630能維持長(zhǎng)時(shí)間的高效工作而不需清潔,相較傳統(tǒng)脈沖 AC 技術(shù),有更長(zhǎng)的清潔周期。在棒長(zhǎng) 450mm 和 600 mm 時(shí),靜電針的間距是 50 mm,棒長(zhǎng) 850 mm 至 2350 mm 的靜電針的間距是75 mm。5630 MP 離子棒標(biāo)準(zhǔn)配置是 QTC27 TurboJet 風(fēng)嘴和鈦金屬靜電針,提供高效而長(zhǎng)清潔周期。
Aerobar 5630 MP 離子棒能容易設(shè)置和微調(diào)參數(shù) - 輸出電壓,脈沖頻率,正負(fù)平衡,以符合不同環(huán)境和產(chǎn)品對(duì)靜電的敏感要求??纱怪焙蜋M放安裝,容易滿足不同的應(yīng)用環(huán)境,如機(jī)內(nèi)插