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產(chǎn)品資料
脈沖技術(shù)離子棒
產(chǎn)品型號(hào):5630
產(chǎn)品廠商:
簡(jiǎn)介:

Simco-Ion Aerobar 5630 MP 離子棒能提供快速靜電消散,低殘余電壓擺幅,和精準(zhǔn)的離子平衡,是設(shè)計(jì)用于有嚴(yán)格要求的超高潔凈半導(dǎo)體或有同類的制程環(huán)境。它采用 MP 技術(shù) - 把高頻正旋周波和調(diào)制脈沖結(jié)合 - 產(chǎn)生高輸出量的離子和把它們推送至目標(biāo)表面,這突破的技術(shù)使 5630能維持長(zhǎng)時(shí)間的高效工作而不需清潔,相較傳統(tǒng)脈沖 AC 技術(shù),有更長(zhǎng)的清潔周期。在棒長(zhǎng) 450mm 和 600 mm 時(shí),靜電針的間距是 50 mm,棒長(zhǎng) 850 mm 至 2350 mm 的靜電針的間距是75 mm。5630 MP 離子棒標(biāo)準(zhǔn)配置是 QTC27 TurboJet 風(fēng)嘴和鈦金屬靜電針,提供高效而長(zhǎng)清潔周期。 Aerobar 5630 MP 離子棒能容易設(shè)置和微調(diào)參數(shù) - 輸出電壓,脈沖頻率,正負(fù)平衡,以符合不同環(huán)境和產(chǎn)品對(duì)靜電的敏感要求??纱怪焙蜋M放安裝,容易滿足不同的應(yīng)用環(huán)境,如機(jī)內(nèi)插

產(chǎn)品參數(shù)

         產(chǎn)品型號(hào)

         5630

         工作電壓

         24 VDC ±10%

         輸出電壓

        13.5 kV p-p (max),可調(diào)

         工作距離

         由15cm至100 cm,根據(jù)應(yīng)用需求或客戶規(guī)格決定

         脈沖定頻

         由1Hz 至 33 Hz,可調(diào),默認(rèn)設(shè)定-5 Hz

         平衡電壓

         自動(dòng)平衡系統(tǒng),在可控環(huán)境下,整根棒能長(zhǎng)期保持在 <±20V @61 cm 工作距離

         工作效能

         TurboJet 風(fēng)嘴 : <3.5 秒 @ (±1000-100V,HEPA下工作距離60cm 和0.3 m/s 風(fēng)速,

         和每風(fēng)嘴供氣 3 liter/min,根據(jù)ANSI/ESD-STM3.1-2006 Ionization 標(biāo)準(zhǔn));OpenJet 

         風(fēng)嘴 :15秒 (典型),Vp-p擺幅 - 80Vp-p @ (沒(méi)有吹氣輔助,在棒中下面61cm工作距離)

         電離技術(shù)

         調(diào)制脈沖 (MP) 技術(shù)

         靜電針材質(zhì)

         

         風(fēng)嘴間距

         可選 50 mm 或 75 mm;棒長(zhǎng) 450 mm 和 600 mm 只可選50 mm

         符合潔凈度

         滿足 ISO 14644-1 Class 3 標(biāo)準(zhǔn)

         供氣要求

         CDA (清潔干燥壓縮空氣)或氮?dú)?/span>

         氣壓要求

         45 psi (*大);由選配的 8 mm 外徑快速接口接入,每個(gè)風(fēng)嘴輸出 1-3.5 litre/min的

         風(fēng)量 (選配)

         臭氧產(chǎn)生

         <0.05 ppm

         EMI

         低于背景水平


         操作環(huán)境

           15-35℃,30-60% RH,無(wú)冷凝

         設(shè)      定

         DIP 開關(guān)設(shè)定電源輸入選擇,有可調(diào)電位器微調(diào)操作參數(shù) - 正負(fù)平衡,工作頻率,

        功率輸出,也可以序列埠輸出連接電腦軟件作調(diào)整

         封      裝

           ABS chassis, 棒上不銹鋼長(zhǎng)條作回饋

         體     積

        78H x 34W x 長(zhǎng)度 - 450,600,850,1000,1150,1300,1450,1600,1750,1900,

        2050,2200,2350L mm

        型號(hào) 5601 電源分配盒

        輸入電壓

        24 VDC 提供給一組 4 根棒,組內(nèi)每個(gè)端口*多需要 0.7A 電流;總電流要求 5.6A

       通       

          有以太網(wǎng)端口 (RJ-45) 連接電腦,每根棒有獨(dú)立待機(jī)信號(hào)

       警       報(bào)

        輸出繼電接點(diǎn)連地

       輸出端口

        8個(gè)RJ-45 端口,每根棒接一個(gè)端口

       LED 顯示

       電源 - 綠,通信 - 黃,警報(bào) - 紅,LAN 通信 - 藍(lán)

      重        量

       0.42 kg

      體        積

       3.1H x 16.0L x 9.2W cm








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